万好科技 Parylene 派瑞林真空镀膜设备（型号：(PZS-T) 2012W）产品描述

核心结构与工艺原理

1. 智能气化裂解主控单元
    
   集成原料气化室、高温裂解腔、PLC 智能控制系统与双触控人机交互界面，可精准实现固态派瑞林原料的真空升华、高温裂解成活性单体的全流程管控；双屏可视化操作，支持多组工艺配方存储与调用，温控精度可达 ±1℃，全程自动化运行，大幅降低人工干预带来的工艺误差，保障批次间的稳定性。
2. 高真空沉积腔体单元
    
   采用高品质不锈钢镜面抛光真空腔体，具备优异的气密性、耐腐蚀性与结构强度；腔体配备快开式密封门、高透观察视窗与标准化工件承载系统，可在高真空环境下实现裂解单体在工件表面的均匀聚合沉积，无死角覆盖复杂形貌、深孔、微结构工件的内外表面，适配多规格、多批量工件的涂覆需求。
3. 高性能高真空机组单元
    
   配置罗茨泵 + 旋片泵组合的高真空机组，搭配高精度真空检测与闭环控制系统，可快速稳定达到工艺所需的高真空洁净环境；同时配备过载保护、真空异常报警、漏气自检等多重安全机制，保障设备长期连续运行的可靠性与安全性。

核心产品优势

• 分子级镀膜精度，无死角全方位包覆
   
  可制备厚度从几十纳米至百微米级可控的超薄薄膜，膜层均匀性优异，无针孔、无应力，可完美包覆带深孔、缝隙、复杂微结构的工件内外表面，实现 360° 全覆盖防护，解决传统涂覆工艺的边角、缝隙防护盲区问题。
• 常温沉积，无热损伤适配全品类工件
   
  镀膜全程在室温环境下完成，无高温热应力，对热敏性元器件、超薄基材、精密微结构件无任何热损伤，完美适配 PCB、传感器、医疗植入件等各类敏感型精密工件的涂覆需求。
• 卓越的综合防护性能
   
  制备的派瑞林薄膜具备优异的防潮防水、耐盐雾、防霉、耐酸碱腐蚀、高绝缘、抗老化、低介电常数等特性，可大幅提升精密器件在复杂严苛环境下的适应性与使用寿命，防护性能远超传统三防漆、喷塑等工艺。
• 全流程智能管控，操作便捷易维护
   
  搭载 PLC 智能控制系统，实现升温、气化、裂解、沉积、真空维持的全流程自动化运行，工艺参数可实时监控、追溯与存储；模块化分体式设计，核心部件易拆卸维护，大幅降低设备运维成本。
• 多重安全防护，运行稳定可靠
   
  设备配备超温保护、过载保护、真空异常报警、漏气自检、紧急停机等多重安全防护机制，腔体采用高密封性防爆型设计，可满足 7×24 小时工业化连续生产需求，长期运行稳定性优异。

核心应用领域

• 电子信息行业：PCB/FPC 线路板、微电子芯片、传感器、磁性元件、LED 器件、连接器的防潮绝缘、防腐蚀防护；
• 医疗健康行业：介入式器械、手术器械、植入式医疗器件的生物相容性涂层、无菌防护、润滑改性涂层制备；
• 汽车电子行业：车载传感器、ECU 控制单元、车载精密电子件的耐盐雾、抗振动、防腐蚀防护；
• 航天航空、文物保护、精密机械、新能源、磁性材料、科研院所等对超薄、高均匀、高可靠性镀膜有需求的各类场景。