派瑞林（Parylene）介绍
派瑞林（Parylene），又称派拉纶，化学名称为聚对二甲苯，是 20 世纪 60 年代由美国 Union Carbide Co. 研发的专利型透明无色聚酯类高分子敷形涂层材料。
该材料采用独特的真空气相沉积工艺制备，在室温、约 0.1 托的真空环境下，由活性小分子在基材表面直接聚合形成完全敷形的聚合物薄膜涂层，能均匀涂覆于各类复杂形状表面，包括尖锐棱边与内部缝隙。
派瑞林涂层厚度可精准控制在0.1–100 微米，具备厚度均匀、致密无针孔、透明无应力、不含助剂、不损伤工件等优异特性，同时拥有出色的电绝缘性与防护性能，是当今高效的防潮、防霉、防腐、防盐雾涂层材料。其技术于 1972 年被纳入美国军用标准MIL-I-46058C，最早应用于美国军用印刷电路板、航空航天及水下发射装置的微电子元件等关键领域。

Parylene镀膜流程：
Parylene 镀膜采用化学气相沉积（CVD）工艺，将粉末状原料置于镀膜设备的蒸发室中，在 150℃–180℃的真空环境下升华为气态分子，随后进入裂解室，于 650℃–700℃的高温下裂解为具有反应活性的单体，这些活性单体在室温条件下以纳米级速率沉积并重新聚合，最终在基材表面形成一层致密无针孔的均匀薄膜。