真空纳米镀膜过程
2023-09-12 15:51:41
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沉积过程分为三步:
1．真空条件下, 以120℃将固态粉末状的对二甲苯的二聚物 (di-para-xylylene; dimer) 加热汽化;
2．以650℃ 将气态的对二甲苯的二聚物 ,裂解为对二甲苯 (para-xylylene) 的 活性单体(monomer);
3．气态活性单体在室温下沉积并聚合成聚对二甲苯 (Poly-para-xylylene )的薄膜。
气态单体进入沉积腔室，首先弥漫在工件表面，当吸附到各个表面后开始聚合和结晶，直接形成固体，避免了液相的出现，清除了厚度的不均匀和涂层的缺陷。（应用LED行业、电子行业、医疗器械、印刷电路板、微电子、磁性行业、半导体、橡塑产品、文物保护、特殊领域）工能:绝缘强和耐高温，抗腐蚀、耐酸碱、润滑、防尘、防潮、透明、防水、抗老化。
